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用戶在使用單級旋片真空泵的時候需要注意些什么

瀏覽次數(shù):2713發(fā)布日期:2017-01-18
  在安裝單級旋片真空泵或壓縮機時,應考慮到易于保養(yǎng)維修。泵與周圍隔墻壁之間,空間至少不低于10厘米,以保證冷卻所需的空氣流動暢通無阻。雙級旋片真空泵是目前能夠獲得高真空的一種真空泵,極限壓力達到0.06pa,是要求高真空度的企業(yè)常用的單級旋片真空泵。該泵可單獨試用,亦可作為增壓泵、擴散泵、分子泵及鈦泵的前級泵使用。
  選用單級旋片真空泵時,需要注意下列事項:
  1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度,選用的單級旋片真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數(shù)量級。
  2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:擴散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強而變化,其穩(wěn)定的工作壓強范圍為510-4~510-6mmHg。因而,單級旋片真空泵的工作點應該選在這個范圍之內(nèi),而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。
  3、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
  4、正確地組合單級旋片真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
  5、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。
  6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。
  7、單級旋片真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。
  8、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
  9、真空泵的價格、運轉(zhuǎn)及維修費用。
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